| 系列 |
流量特性
2→3（A→R）
C［dm3/（ sbar）］ |
流量特性
2→3（A→R）
b |
流量特性
2→3（A→R）
Cv |
消耗功率（W） |
可真空使用 |
| VQZ100 |
0.56 |
0.30 |
0.14 |
0.35（標準）
0.9（高壓型、
高速響應型） |
－100kPa |
| VQZ200 |
1.7 |
0.36 |
0.45 |
0.35（標準）
0.9（高壓型、
高速響應型） |
－100kPa |
| VQZ300 |
3.0 |
0.33 |
0.72 |
0.35（標準）
0.9（高壓型、
高速響應型） |
－100kPa |
|
該產品為外部先導規格，可真空使用。
鋁制一體型集裝式可安裝DIN導軌。
集裝型號：VV3QZ12，VV3QZ15，VV3QZ22，VV3QZ25，
VV3QZ32，VV3QZ35
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